1. Le système de vide : la pompe mécanique, pompe de palette rotatoire, racines pompent, pompe moléculaire, cryogénique
pompe, avec le piège froid système d'extraction de vitesse de pompage de pompe de diffusion d'huile de vide poussé du grand,
pompes à vide exemptes d'huile facultatives de pompe de support, tuyaux d'acier inoxydables et valves.
2. Le procédé de protection : adoption des ensembles multiples de puissance de pulvérisation de magnétron de fréquence intermédiaire
fournissez, avec 1-2 de la cible non équilibrée de magnétron, et êtes équipé de l'arc chaud de la cathode 6-14, et
l'alimentation d'énergie d'arc, superposition de C.C a palpité l'alimentation d'énergie de polarisation, le principal niveau international de la source d'arc
et source d'ions de couche d'anode ; Équipé de 1-2 ensembles d'original a importé la source de débarquement.
3. Gonflage du système : débimètre à gaz et contrôle automatiques d'instrument d'affichage d'écoulement.
4. Système de contrôle : l'écran tactile de couleur, le contrôle de PLC, automatique et manuel en peuvent être convertis à
temps. L'affichage en temps réel a détaillé les paramètres, contrôle complètement automatique du processus de fabrication entier,
paramètres de processus de stockage automatique. Les composants électriques principaux sont des marques célèbres comme
Schneider.
5. Système de sûreté : installation du bruit et du dispositif d'alarme léger de l'anomalie de l'eau, de l'électricité et de gaz, et
mise en oeuvre des procédures correspondantes de protection.
6. Chauffage et système de cuisson : adoptez le corps de chauffage de tube d'acier inoxydable, la température d'embase peut
atteignez 300 degrés, le mètre de contrôle de température adopte l'instrument conducteur japonais,
la précision de contrôle de température est plus ou moins 1 degré Celsius.
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