Caractéristiques principales

1. Pièce de revêtement : chambre pour une personne verticale, multi-pièce ou simple horizontal, sélection de structure de multi-chambre,
 
le matériel de l'acier inoxydable 304, le diamètre utile du puits à dépression est 800mm- 3500mm, avec de l'eau
 
structure de refroidissement, etc.
 
 
2. Système de vide : la pompe mécanique, pompe de palette rotatoire, racines pompent, pompe moléculaire, basse température
 
la pompe, pompe de diffusion d'huile de vide poussé avec le puits froid, pompe de diffusion d'huile de vide poussé, adoptent l'acier inoxydable
 
tuyau et valve ;
 
 
3. Procédé de protection : 2 ensembles de 2-10 ensembles de cible plate ou de cible de colonne, magnétron de C.C pulvérisant, DC+RF
 
magnétron pulvérisant, revêtement de HDAP.
 
 
4. Gonflage du système : 1-4 contrôle de compteur de débit de gaz et d'indicateur d'écoulement ;
 
 
5. Système de contrôle : l'écran tactile, le contrôle de PLC, automatique et manuel peuvent être convertis à tout moment. Vrai
 
l'affichage de temps a détaillé les paramètres, contrôle complètement automatique du processus de fabrication entier, automatique
 
paramètres de processus de stockage. Les composants électriques principaux sont des marques célèbres telles que Schneider.
 
 
6. Système de sûreté : installation du bruit et du dispositif d'alarme léger de l'anomalie de l'eau, de l'électricité et de gaz, et
 
mise en oeuvre des procédures correspondantes de protection ;
 
 
7. Pompage auxiliaire : un piège de circulation rapide de vapeur d'eau de basse température ;
 
 
8. Système de chauffage : la température de l'embase peut atteindre 350 degrés avec le tube et autre
 
éléments de chauffe ;
 
 
9. Peut être équipé des sources multicible selon les besoins des clients ;