1. Pièce de métallisation sous vide : la chambre pour une personne, la multi-pièce ou horizontaux verticale choisissent, structure de multi-chambre

la sélection, matériel de l'acier inoxydable 304, le diamètre utile du puits à dépression est 800mm- 3500mm,

avec la structure de refroidissement par l'eau, etc.

2. Système de vide : la pompe mécanique, pompe de palette rotatoire, enracine la pompe, pompe moléculaire, basse température

pompez, pompe de diffusion d'huile de vide poussé avec le froid bien, pompe de diffusion d'huile de vide poussé, adoptez l'acier inoxydable

tuyau et valve.

3. Procédé de protection : 2 ensembles de 2-10 ensembles de cible plate ou de cible de colonne, magnétron de C.C pulvérisant, DC+RF

magnétron pulvérisant, revêtement de HDAP.

4. Gonflage du système : 1-4 contrôle de compteur de débit de gaz et d'indicateur d'écoulement.

5. Système de contrôle : l'écran tactile, le contrôle de PLC, automatique et manuel peuvent être convertis à tout moment. Vrai

chronométrez les paramètres détaillés par affichage, contrôle complètement automatique du processus de fabrication entier, automatique

paramètres de processus de stockage. Les composants électriques principaux sont des marques célèbres telles que Schneider.

6. Système de sûreté : installation du dispositif d'alarme de bruit et de lumière de l'anomalie de l'eau, de l'électricité et de gaz, et

mise en oeuvre des procédures correspondantes de protection.

7. Pompage d'auxiliaire : un piège de circulation rapide de vapeur d'eau de basse température.

8. Système de chauffage : la température de l'embase peut atteindre 350 degrés avec le tube et autre

éléments de chauffe.

9. Peut être équipé des sources multicible selon les besoins des clients.